




蒸發(fā)鍍膜
一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來。厚度均勻性主要取決于:
1、基片材料與靶材的晶格匹配程度
2、基片表面溫度
3、蒸發(fā)功率,速率
4. 真空度
5. 鍍膜時間,厚度大小
組分均勻性:蒸發(fā)鍍膜組分均勻性不是很容易保證,具體可以調(diào)控的因素同上,但是由于原理所限,對于非單一組分鍍膜,蒸發(fā)鍍膜的組分均勻性不好。
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真空鍍膜機(jī)的真空室設(shè)計(jì)方法
真空鍍膜技術(shù)是在真空條件下采用物理或者化學(xué)方法,使物體表面獲取所需膜體,真空鍍膜技術(shù)根據(jù)其采用方法的不同科分成蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流沉積以及分子束外延等,這次分析的鍍膜設(shè)備采用的是磁控濺射鍍膜。
真空室是真空設(shè)備的一個主要組成部位,真空鍍膜設(shè)備真空室設(shè)計(jì)主要考慮的就是密封性和可靠性,結(jié)構(gòu)必須要合理,真空設(shè)備的材料生產(chǎn)都是在真空室內(nèi)進(jìn)行的,材料對真空度的影響要小,設(shè)計(jì)不能馬虎,要注意一些問題。
使用磁控濺射的真空鍍膜機(jī)一般采用的是圓筒主體結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)上要保證快速抽空,因氣袋會緩慢的放氣,因此要避免出現(xiàn)隔離孔穴,真空系統(tǒng)上端會加裝磁控濺射槍,為了使真空室和元件有足夠的強(qiáng)度,保證在外部和內(nèi)部的作用力下不產(chǎn)生形狀的變化,厚度需要足夠。
焊接是真空室制造中的一道關(guān)鍵工序,保證焊接之后的真空室不會產(chǎn)生漏氣現(xiàn)象,須合理設(shè)計(jì)焊接結(jié)構(gòu),提高焊接質(zhì)量,處在超高真空的內(nèi)壁粗糙度要拋光使室外室內(nèi)表面很光潔,須特別注意的是需做好防止生銹的措施。
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多功能真空鍍膜機(jī)
真空鍍膜機(jī)工作時,需要先抽真空,使真空室處于真空狀態(tài),再進(jìn)行鍍膜;在離子鍍技術(shù)中,由于給工件施加負(fù)偏壓,可以形成“偽擴(kuò)散層”、細(xì)化膜層組織,因此,可以顯著提高膜層的耐腐蝕性能。鍍膜完成后,需要向真空室充氣?,F(xiàn)有技術(shù)中,真空鍍膜機(jī)的充氣管道直接與外界連通,容易把外界空氣中的灰塵帶入真空室,導(dǎo)致鏡片上吸附灰塵,造成產(chǎn)品不良真空蒸渡金屬薄膜是在高真空條件下,以電阻、高頻或電子加熱使金屬熔融氣化,在薄膜基材的表面附著而形成復(fù)合薄膜,其中被鍍金屬材料用的1多的是鋁,在塑料薄膜或紙張表面鍍上一層極薄的金屬鋁即成為鍍鋁薄或鍍鋁紙,在鍍鋁薄膜生產(chǎn)過程中對于真空條件是有嚴(yán)格限定的,真空度過高或過低都會影響鍍膜的性能,目前,工廠里使用的鍍膜機(jī)對于真空度的控制并不是很穩(wěn)定,導(dǎo)致生產(chǎn)過程中產(chǎn)品的性能不夠穩(wěn)定,因此,解決生產(chǎn)過程中鍍膜機(jī)里的真空度不易控制的問題尤為重要,而且內(nèi)部鍍膜物件的溫度高,需要及時降溫,提高工作效率。
真空鍍膜機(jī)檢漏
要承認(rèn)漏氣究竟的虛漏仍是實(shí)漏,因?yàn)楣ぜY料加熱后都會在不同程度上發(fā)生氣體,有也許誤以為是從外部流進(jìn)的氣體,這即是虛漏,要掃除這種狀況。
第二,測驗(yàn)好真空室的氣體密封功能,確保氣密功能符合要求。
第三,查看漏孔的巨細(xì),形狀、方位,漏氣的速度,制備出可處理方案并施行。
第四,斷定檢查儀器的1小可檢漏率和檢漏靈敏性,以1大規(guī)模的檢查出漏氣狀況,防止一些漏孔被疏忽,進(jìn)步檢漏的準(zhǔn)確性。
第五,掌握檢漏儀器的反應(yīng)時刻和消除時刻,把時刻掌握好,確保檢漏儀器作業(yè)到位,時刻少了,檢漏作用必定差,時刻長了,糟蹋檢漏氣體和人工電費(fèi)。
第六,還要防止漏孔阻塞,有時因?yàn)椴僮魇д`,檢漏過程中,一些塵埃或液體等把漏孔阻塞了,以為在該方位沒有漏孔,但當(dāng)這些阻塞物因?yàn)閮?nèi)外壓強(qiáng)區(qū)別進(jìn)步或別的緣由使漏孔不堵了,那漏氣仍是存在的。
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